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반도체 공정소재
반도체 공정재료는 CVD/ALD(원자증착) 등 고순도 증착 재료로 절연·전도성 박막 Pattern 형성 시 사용합니다.
리켐은 반도체 공정소재로 제조 판매하는 품목은 소량 다품종으로 10여 가지를 생산하고 있습니다.